本產(chǎn)品應用于半導體生產(chǎn)工藝過(guò)程的離子注入機中，用于勵磁的一款高精度可編程電源。輸出電壓量程為 0 ‐6V ，輸出電流量程為 0 ‐ 100A ，電壓電流精度均可達千分之一。根據負載可隨時(shí)切換到恒壓、恒流工作模式，并支持本地和遠程編程控制。本產(chǎn)品具有模擬量接口、人機接口，以及遠程通信管理功能等。產(chǎn)品前端具有 LED 數顯功能，可實(shí)時(shí)顯示輸出電流，電壓，設定工作電流，電流等。各種保護功能齊全，包括抗雷擊，過(guò)壓，過(guò)流以及風(fēng)扇堵轉保護等。成果實(shí)現了能耗數據可視化、達到能耗排放最優(yōu)化，并為企業(yè)能源管理部門(mén)及政府能源管理機構提供節能減排信息化服務(wù)。
應用前景：
離子注入機是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設備，離子注入是對半導體表面附近區域進(jìn)行摻雜的技術(shù)，其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類(lèi)型。離子注入與常規熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進(jìn)行精確的控制，克服了常規工藝的限制，提高了電路的集成度、開(kāi)啟速度、成品率和壽命，降低了成本和功耗。離子注入機廣泛用于摻雜工藝，可以滿(mǎn)足淺結、低溫和精確控制等要求，已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備。成果可廣泛應用于半導體生產(chǎn)用離子注入機中，有效的實(shí)現了數據的可視化。
成熟度：小試階段
