薄膜厚度測試儀是適用于各種薄膜材料厚度精確監測的儀器，目前已經(jīng)廣泛應用于各類(lèi)儀器當中， 尤其是在一些國家重點(diǎn)投入和支持的科研領(lǐng)域中，如制備有機發(fā)光二極管(OLED) 的真空熱蒸鍍儀、 制備太陽(yáng)能電池的真空熱蒸鍍儀以及一般的熱蒸鍍儀和濺射儀。薄膜厚度測試儀通過(guò)對蒸鍍或者濺射 出的材料的精確監測，可以直觀(guān)地讀出響應沉積的薄膜厚度。以OLED 真空熱蒸鍍儀為例，大部分的 蒸鍍材料為有機材料和金屬電極材料(如鋁、銀等金屬)且最小厚度需要精確到0.1納米，因此對薄 膜厚度測試儀的厚度和速度分辨率有較高的要求。該項目研發(fā)的多通道QCM 薄膜厚度測試儀(型號 為 DPM4c) 具有超高靈敏度，擁有更多通道。在同級別產(chǎn)品中，其質(zhì)量更高且價(jià)格更低廉。規格方 面，該薄膜厚度測試儀擁有四個(gè)可同時(shí)使用的傳感器，測量頻率范圍為在3-10 MHz 之間，分辨率在 6 MHz的條件下可達到0.025 Hz, 頻率穩定性小于1 ppm(1Hr), 使用接口為標準的RS422 和 RS485 接口。此外，該薄膜厚度測試儀擁有16個(gè)1/O Aux輸出口，且具有晶振片異常檢測功能。
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薄膜厚度測試儀
類(lèi)型：成熟度：專(zhuān)利號/型號：交易方式：簡(jiǎn)介： 薄膜厚度測試儀是適用于各種薄膜材料厚度精確監測的儀器，目前已經(jīng)廣泛應用于各類(lèi)儀器當中， 尤其是在一些國家重點(diǎn)投入和支持的科研領(lǐng)域中，如制備有機發(fā)光二極管(OLED) 的真空熱蒸鍍儀、 制備太陽(yáng)能電池的真空熱蒸鍍儀以及一般的熱蒸鍍儀和濺射儀。薄膜厚度測試儀通過(guò)對蒸鍍或者濺射 出的材料的精確監測，可以直觀(guān)地讀出響應沉積的薄膜厚度。以OLED 真空熱蒸鍍儀為例，大部分的 蒸鍍材料為有機材料和金屬電極材料(如鋁、銀等金屬)且最小厚度需要精確到0.1納米，因此對薄 膜厚度測試儀的厚度和速度分辨率有較高的要求。該項目研發(fā)的多通道QCM 薄膜厚度測試儀(型號 為 DPM4c) 具有超高靈敏度，擁有更多通道。在同級別產(chǎn)品中，其質(zhì)量更高且價(jià)格更低廉。規格方 面，該薄膜厚度測試儀擁有四個(gè)可同時(shí)使用的傳感器，測量頻率范圍為在3-10 MHz 之間，分辨率在 6 MHz的條件下可達到0.025 Hz, 頻率穩定性小于1 ppm(1Hr), 使用接口為標準的RS422 和 RS485 接口。此外，該薄膜厚度測試儀擁有16個(gè)1/O Aux輸出口，且具有晶振片異常檢測功能。 -
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